Use this url to cite Standard: https://hdl.handle.net/20.500.12512/187684
Puslaidininkiniai įtaisai. Mikroelektromechaniniai įtaisai. 8 dalis. Juostelės lenkimo bandymo metodas, skirtas plonų sluoksnių tempimo savybėms matuoti (IEC 62047-8:2011)
ID
636060
Reference
LST EN 62047-8:2011
Original Reference
EN 62047-8:2011
Title
Puslaidininkiniai įtaisai. Mikroelektromechaniniai įtaisai. 8 dalis. Juostelės lenkimo bandymo metodas, skirtas plonų sluoksnių tempimo savybėms matuoti (IEC 62047-8:2011)
Other Title
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices -- Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films (IEC 62047-8:2011)
Contributor
Lietuvos standartizacijos departamentas
Date Issued
2011-10-28
Technical Committee
TK 1 Elektronika
Foreign Technical Committee
CLC/TC 47X , IEC/SC 47F Mikroelektromechaninės sistemos
Subject
No | Subject |
---|---|
31.080.99 | Kiti puslaidininkiniai įtaisai |
Document
Document | Language | Pages |
---|---|---|
en | 17 |
Active
Taip / Yes
Date of Submission
2024-07-03