Use this url to cite Standard: https://hdl.handle.net/20.500.12512/181732
Puslaidininkiniai įtaisai. Mikroelektromechaniniai įtaisai. 4 dalis. Bendrieji techniniai reikalavimai, keliami mikroelektromechaninėms sistemoms (MEMS) (IEC 62047-4:2008)
ID
628549
Reference
LST EN 62047-4:2011
Original Reference
EN 62047-4:2010
Title
Puslaidininkiniai įtaisai. Mikroelektromechaniniai įtaisai. 4 dalis. Bendrieji techniniai reikalavimai, keliami mikroelektromechaninėms sistemoms (MEMS) (IEC 62047-4:2008)
Other Title
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices -- Part 4: Generic specification for MEMS (IEC 62047-4:2008)
Contributor
Lietuvos standartizacijos departamentas
Date Issued
2011-02-15
Technical Committee
TK 1 Elektronika
Foreign Technical Committee
IEC/TC 47 Puslaidininkiniai įtaisai
Subject
No | Subject |
---|---|
31.080.99 | Kiti puslaidininkiniai įtaisai |
Document
Document | Language | Pages |
---|---|---|
en | 19 |
Active
Taip / Yes
Date of Submission
2024-07-03